二手 KLA / TENCOR SL3 #293824682 待售

KLA/TENCOR SL3是一种先进的掩模和晶圆检验设备,旨在使工艺工程师、设备供应商和无晶圆厂半导体制造业务能够提高产量和产品质量。该系统设计用于在光刻和蚀刻的关键过程步骤中检查晶片。它具有几个关键组件,例如高分辨率CCD摄像头、可调压力级、电动Z级、自动对准单元和光源。高分辨率CCD相机可以让用户同时查看晶片的两侧，给出一张表面向下4微米的完整扫描图片。可调节的压力级可以准确地维持可靠成像所需的压缩，允许准确和可重复的结果。电动Z级提供精确和自动化的晶片处理,允许在人工干预最少的情况下进行检查。自动对齐机确保最佳对焦和对准，照明工具确保准确的颜色保真度。KLA SL3结合了多种工具和功能,使用户能够快速准确地检测多级流程集成中的特征大小和缺陷位置。该资产允许用户即时定制检查标准和评估晶圆特性，以改善过程控制。TENCOR SL3是一种先进的晶圆检测模型,旨在最大程度地提高生产效率、精度和产量.它结合了卓越的成像功能、自动对准和高级功能,为半导体制造提供了易于使用的平台。这使得对晶片进行高速、可靠和准确的高分辨率检查,而对操作员的关注却很少,从而使用户能够提高其工艺控制和产量。