二手 KLA / TENCOR SL3 #293829418 待售

KLA/TENCOR Starlight SL3是一种先进的掩模和晶圆检测设备，设计用于半导体制造操作。它提供高分辨率成像,以识别掩模表面以及晶片表面本身的缺陷和污染。该系统还提供高级成像和分析工具,以快速查找和识别缺陷。KLA Starlight SL3具有高性能的光学单元，具有先进的波长选择和更高的数值孔径，以确保更好的图像质量。这包括一个双轴扫描仪,它以两个角度扫描和成像掩模表面,以便更准确地检测缺陷。机器还包括几种先进的成像技术，如点扫描、线扫描和全景取景，确保晶圆和掩模表面以尽可能高的放大倍数精确检查。TENCOR Starlight SL3具有复杂的图像分析工具,用于检测、分类和测量蒙版和晶圆表面上存在的缺陷。这包括自适应缺陷检测资产（Adaptive Defect Detection Asset，ADDS），它可以"学习"识别蒙版和晶圆表面中可能不易被人类识别的缺陷。缺陷审查和分析模块（DRAM）允许对缺陷和污染物进行详细分析,提供有关其位置、缺陷类型、大小、形状和幅度的实时反馈。该模型还提供了自动缺陷分类，以尽量减少手动检查的需要。星光SL3提供检查员友好的操作和强大的操作员界面。它包括几个软件包来帮助操作员设置、配置和控制设备。其中包括掩码编辑器软件、PC检查软件和Win工具箱软件。该系统还可以与其他半导体制造设备和数据库集成，提供生产过程的综合视图。KLA/TENCOR Starlight SL3设计用于可靠、准确的操作,占用空间较小。其低的拥有成本和最低的维护要求使其成为许多半导体制造操作的理想选择。该装置旨在为制造商提供从其临界掩模和晶圆表面快速准确的缺陷检测。