二手 KLA / TENCOR SL301 #9251376 待售

KLA/TENCOR SL301是一种用于半导体生产的最先进的掩模和晶圆检测设备。该系统的功能为工程师和技术人员提供了全面的计量能力,以确保过程控制和质量保证。KLA SL301包括一个200毫米/300毫米检测室，容纳硅片、复合半导体晶片、IC封装和先进的MEMS结构等基材。该单元提供了许多成像选项,包括CCD、光刻胶和低K和高K介电测量。TENCOR SL301机器运行专有软件以方便实时缺陷检测,并为用户提供多种工具来重建缺陷的3D形状以评估表面质量。检查的各个阶段包括通过机器人手臂手动装载基板、特征测量和缺陷检查。此外，该工具还配备了各种自动化设备，如条形码阅读器和灯陷阱，以防止基板损坏或污染。SL301配备了自动聚焦控制（AFC）功能,可确保在扫描过程中正确聚焦。它还具有改进的光学设计,可确保关键缺陷分辨率。KLA/TENCOR SL301资产还利用了一种高分辨率的远心透镜，它能够检查复杂结构上的各种特征，而无需标线。此外,它还与各种成像工具兼容,例如MEMS静电卡盘,以提高性能。该型号带有直观的用户友好型GUI,允许用户快速高效地监视、配置和分析设备。它还具有一系列可以根据用户的特定需求进行个性化的测量模式。此外,系统还具有多个故障保险箱,可保护设备和操作员免受任何潜在伤害。总体而言,KLA SL301是任何生产环境下理想的掩模和晶圆检测装置.它提供了一整套成像、缺陷检测和过程控制功能,为工程师和技术人员提供精确的缺陷解决和改进的过程控制功能。最后，它直观的用户界面使得机器易于使用的所有技能水平的操作员。