二手 KLA / TENCOR SL515 #9032013 待售
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ID: 9032013
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Mask inspection system, 12"
2 LP, 1 CHM, 1 ARM/1 LP, 1 CHM , 1 Laser
(1) Loadport (Asyst)
Loadports carrier reader: RFID type
Robot: KLA design
Light source: Coherent laser, FRED, ASSY, HP 257nm (SHG of 514nm by the BBO crystal)
Function: Inspection mask surface's haze
Components:
Power condition (for UIC)
UM
Power condition (for UM)
RLS
UIC
Operation con
Operation con (SunBlade 2000)
IAS
KLA 95i
Operation con (printer)
Parts missing:
FRU, MODULE BEAM STAB, 5XX
FRU, MODULE DIFFUSER, 5XX
2007 vintage.
KLA/TENCOR SL515是一种用于半导体制造过程的掩模和晶圆检测设备。该系统利用高分辨率成像和计量来检查每个掩模和晶圆到纳米尺度。KLA SL515的采集速度快,缩短了检测时间,提高了产品质量.KLA SL515high-resolution成像是通过与20英寸显示屏结合使用的数字LED光源完成的。显示屏提供了掩模和晶片的清晰视图，并允许容易识别缺陷。该单元还设有一个综合计量机，用于测量缺陷的大小、形状和分布。然后将这些数据存储在数据库中,以便以后进行分析和比较。该工具还具有自动缺陷检测和分类算法,可以快速准确地识别缺陷。此功能消除了人工检查,从而节省了时间和金钱。资产还可以确定可能导致成本高昂的返工和生产延误的过程控制问题。TENCOR SL 515是掩模和晶片检测的理想解决方桉，它提供了快速、可靠的数据和出色的分辨率。该模型满足了半导体制造工艺的严格要求，确保交付给客户的产品质量最高。自动缺陷检测和分类算法还可以消除昂贵的手动检查,从而节省时间和金钱。
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