二手 KLA / TENCOR SP 200 #293608654 待售
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KLA/TENCOR SP 200掩模和晶片检测设备是一种多用途、高度自动化的系统，设计用于检测集成电路（IC）掩模和晶片中的缺陷。该单元用于从基本晶片扫描、审查到缺陷分析等不同级别的掩模和晶片的检查、审查和分类。KLA SP 200机器利用可定制的软件平台,可根据每个应用程序的特定需求进行定制。该工具具有独特的高分辨率成像能力，能够检测到小至5纳米的缺陷。它还包括双光束激光器、高精度图像处理和非接触式扫描头，用于精确的掩模对准和精确、可靠地检测超出公差的芯片。该资产可用于多种应用，包括模模比较检查和模晶圆比较检查；寻找扭结和桥接线；估计芯片缺陷、泄漏和短路的产量和诊断。该模型可用于改进过程控制和提高吞吐量。该设备具有集成的支持软件和硬件组件。软件包括数据采集和缺陷审查。它可以检测到一系列缺陷，包括错位、倾斜效应、桥接、捏、短裤、错形基准、错位基准、缺失元素、随机缺陷、芯片损坏以及掩模或晶圆配准或模具尺寸不均匀。它还包括用于产品规格的数据库访问、各种自动编程和模拟工具以及用于统计分析的软件。系统架构还包括自动重做和数据分析能力。硬件组件由晶圆/掩模专用机械化扫描仪中的双束激光器组成。这样可以快速、准确地对准和扫描掩模和晶片。TENCOR SP 200单元还提供了多种提高机器性能的工具，包括图像处理和特征增强工具，以及模式识别工具、彩色图像评估和模板匹配的高级算法。SP 200资产具有高性能成像和可靠的缺陷检测功能,物有所值,是口罩和晶片检测和缺陷分析的绝佳选择。
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