二手 KLA / TENCOR SP1 Classic #9229734 待售

KLA/TENCOR SP1经典蒙版和晶圆检测设备是一种先进的、基于非接触式光学模式识别的检测系统,用于芯片布局、光刻蒙版、印刷电路板（PCB）和集成电路（IC）制造的光掩码检测等多种2D设备。它旨在检测从小电路到大芯片阵列的结构缺陷。KLA SP1 Classic提供高速、准确的模式识别，允许用户快速识别掩码或晶圆中的缺陷和异常。它提供高分辨率成像,最大特征分辨率为0.3 μ m,使其能够检测小缺陷。此外,高性能数据存储单元可确保快速高效地检索数据。该机由先进的光学成像显微镜、分束器、校准激光和激光二极管、线性线性二极管阵列检测器和数字图像处理计算机组成，用于掩模和晶片的检测。显微镜配备了12英寸方形、高分辨率的CCD相机。这会产生掩模或晶片的图像,然后将其投影到分束器上。然后将两个分割光束聚焦并由一组主动稳定的反射镜引导。这会产生干涉模式，由线性二极管阵列检测器捕获并传输到数字图像处理计算机。数字图像处理计算机随后处理干涉图样以识别掩码或晶片中的缺陷。除了面罩和晶圆检查外，该工具还可以用于标线采集。标线采集模块有助于确保掩模和晶片都被精确测量和检查，以获得最准确的结果。使用TENCOR SP 1 CLASSIC蒙版和晶片检验资产，用户可以快速准确地检查蒙版和晶片的缺陷，显着降低制造成本。它具有高分辨率的成像和快速的数据检索功能,因此非常适合各种应用。