二手 KLA / TENCOR SP1 Classic #9262584 待售

KLA/TENCOR SP1 Classic mask and wafer inspection equipment is a high-performance integrated system which provides suppired pattern and defect processions for advanced semicontor and lithech processes.它旨在满足半导体行业的具体需求，为掩模和晶片提供精确可靠的多种参数检测，包括临界尺寸（CD）测量、迭加定位和缺陷检测。KLA SP1 Classic采用KLA独特的QuadraVista™图像处理技术,利用专利算法在缺陷检测中提供超高精度和分辨率。QuadraVista提供卓越的图像对比度和降噪功能,确保在检测缺陷时具有出色的灵敏度和可靠性。凭借复杂的自动化和易用性,TENCOR SP 1 CLASSIC旨在减少数据处理时间和手动操作员交互。SP1 Classic配备了高分辨率线性视场（FOV）检测器，并利用双通聚焦技术精确测量光学特性和迭加性能。缺陷检查可以多种模式进行，包括空中散焦、孔径散焦和基于图像的检查。该单元还具有自动缺陷分类算法，能够准确快速地识别细微缺陷特征，如局部边缘和直线度。TENCOR SP1 Classic旨在促进关键尺寸（CD）的快速自动校准和测量。利用高精度级和基于激光的散射测量技术，它能够测量公差小至0.2微米的CD。该机器还具有自动化控制和错误监视功能,允许高效且无错误的刀具操作。KLA SP 1 CLASSIC由Linux™的操作资产和Intel®处理器提供支持,提供可靠高效的操作。它的模块化架构设计使其具有高度的可升级性，使其能够跟上半导体行业不断变化的需求。此外,该型号还提供多种选项,包括高级DUV照明源、多头检查功能和全局级配置。SP 1 CLASSIC是先进半导体计量应用的绝佳选择。它提供卓越的图像处理能力、高精度分析和快速晶圆检查,非常适合高速生产和计量应用。