二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9016572 待售
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ID: 9016572
Particle inspector
Supply connections: 200-240 VAC, 4 wire (3W+PE)
Input current: 30 A, 3 phase, 50/60 Hz
Main breaker rating: 40 A, 14k AIC @ 480 V
Largest load: 26 A (laser)
2002 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS是一种先进的掩模和晶圆检测设备,旨在检查多个过程步骤和专业的缺陷。它采用最新的先进成像和检查技术,快速准确地检测和识别各种类型的缺陷。KLA SP1 DLS系统是生产环境和实验室环境中口罩和晶片检验的行业标准,被世界上许多最大的芯片制造商和铸造厂使用。这种自动化装置能够在单个平台上检查各种掩码和晶片,而无需更改工具或设置。它有一个模块化的检查区域,可针对顶部、底部或查看之间的情况进行定制,并实现高达2.5 μ m ~的图像分辨率。TENCOR SP 1-DLS采用了前沿检测算法和自适应光学技术,旨在适应不同的产品类型,识别多种缺陷,包括模式移位、线缘粗糙度、图像对比度等缺陷。此外,该机器还支持使用可视化工具(如假彩色3D迭加、轮廓分析和横截面图形显示)进行全面的产品分析。使用该软件,用户可以在同一数据集的多个产品或过程中查看缺陷结果,以确定趋势并产生影响。该工具具有高精度的视觉辅助校准功能,可根据需要对摄像机进行实时调整,从而确保随着时间的推移实现准确的重复性。此外,KLA SEMVision自动化机器学习工具包还通过提供业界领先的分类准确性和更快的培训时间,进一步简化了缺陷特性。集成的报告资产有助于轻松跟踪缺陷信息和模型在不同产品上的性能。总体而言,SP 1-DLS设备是可靠、精确的掩模和晶圆检测的理想选择.它旨在帮助保持最高水平的掩模和晶片质量,同时降低检查成本。它使用户能够准确识别各种缺陷,从而在整个过程中实现更好的过程控制和可见性。
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