二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9181648 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一种先进的掩模和晶圆检测设备，为过程控制应用提供高质量的结果。它是一个全自动、高精度的机器人系统，能够对半导体晶片进行经济高效的分析，以便进行缺陷检测。该装置专为可控性和易用性而设计，是晶圆检验实验室和负责晶圆分析的工艺工程师的理想选择。"KLA SP1 DLS"代表"扫描探针1-缺陷定位机",由以下组件组成：SP1扫描探针-配备压电扫描仪,SP1扫描探针在超高分辨率显微镜下移动晶片以检查缺陷。其最大样品移动速度为5毫米/秒，能够检测到小至0.6 μ米的小缺陷。红外（IR）探测器-红外（IR）探测器用于快速检测晶圆表面的缺陷.它能够结合红外反射率、对比度成像、边缘检测和颜色分层等多种检测技术。带电耦合器件（CCD）摄像机-高分辨率CCD摄像机可以使用6英寸范围拍摄高清晰度的缺陷图像。该相机能够提供准确的图像和对缺陷的详细分析。激光工具-激光设备用于检查晶片背面,以测量显微镜下无法看到的任何缺陷的存在。它使用先进的激光检测和分析算法来检测和测量微小的缺陷。图像捕获模型-图像捕获设备用于存储和分析CCD相机捕获的高分辨率图像。图像可以用软件进行进一步分析，结果可以用来评估和优化整个制造过程。TENCOR SP 1-DLS系统是为高效、可靠和可重复的晶片检测结果而设计的.它配备了先进的光机、电子和软件技术，以最大限度地提高质量和产量。该单元旨在满足半导体行业的严格需求，并通过认证达到国际标准。TENCOR SP1 DLS机非常适合不可知论、半导体检测、工艺控制等应用。