二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9211112 待售
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ID: 9211112
Wafer surface analysis system, 12"
With backside inspection module
Includes:
Defect sensitivity: .050 um
Enhanced edge exclusion
Enhanced rough film sensitivity
Argon ion laser: 488 nm
(4) Dark field collection channels:
Normal wide
Normal narrow
Oblique wide
Oblique narrow
RTDC
Map to map
Measurement chamber with ULPA filter and blower unit
Operator interface
Operating system: Microsoft windows NT 4.0
Interactive pointing device
Keypad controls
TFT Flat panel display, 18"
Parallel printer port
Defect map and histogram with zoom
Microview measurement capability
Part number / Description
0042021-000 / Edge handling 12"
0042027-000 / Dual FIMS 12", bulkhead with backside inspection module, dual FOUP Handling module ASYST, edge handling, bulkhead mounted with dual UI, FLECWA
0025832-000 / 45A/250V, Domestic voltage requirement
547301 / Bulkhead UI, dual FIMS, SP1
571237 / System, DLS
571075 / Bright field, dual plane bright field, run simultaneously with dark field normal / Dark field oblique
515990 / XY Coordinate
570133 / 4 Color light tower
0028618-000 / Backside inspection option, backside inspection module requires edge handling
CALCURV-SPO3 / Cal curve oblique, 12"
543047-12 / SP1 DLS Conformance test document (CTD)
528080 / HSMS
RFE5-18036 / E87 Carrier management services
RFE55-20835 / E 40 / E 94 Process job management / Control job management and E 90 Substrate tracking
0043182-000 / Carrier ID hermos single wire
2002 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS是一种掩模和晶片检测设备，旨在提供对掩模和晶片的快速、无损分析。它基于MCD（Multi-Chromatic Differential Defect）系统，采用明暗场视图的组合，快速准确地检测小缺陷。该单元由几个主要组件组成：成像光学器件、成像传感器和控制器。成像光学器件包括三个虹膜、两个目标、两个滤镜和一个微透镜阵列板。这些组件协同工作,以最大限度地提高所检查样品的分辨率和对比度,并专门为最大限度地提高基于MCD的检测效率而设计。这些光学器件还提供了精确图像捕捉的聚焦和放大倍率。成像传感器位于光学器件的后面,与光学器件配合工作以捕获样品图像。它是一个线扫描相机，能够捕捉到高达1600万像素。这台机器提供快速、高分辨率的成像，用于掩模和晶片检查。控制器是一款高级机器视觉处理器，专为配合KLA SP1 DLS工具而设计。它负责管理图像捕获、图像处理和结果报告。它具有按钮操作、快速的图像采集和全面的缺陷报告功能,可提高准确性和可重复性。TENCOR SP 1-DLS是一种功能强大、可靠的无损掩模和晶圆检测工具。其基于MCD的检测资产提供了对缺陷的快速、准确的分析，而其全面的成像光学和成像传感器最大限度地提高了被仔细检查图像的分辨率和对比度。基于机器视觉的控制器可确保快速高效的图像处理和详细的缺陷报告。在所有这些组件协同工作的情况下,KLA SP1-DLS模型非常适合需要快速、准确检查的应用程序。
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