二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9214561 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1-DLS
ID: 9214561
Wafer inspection system, 12" 2006 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS是一种掩模和晶圆检测设备,专为业界领先的缺陷检测和高分辨率成像而设计。该系统提供无与伦比的高精度成像,可最大程度地覆盖缺陷,有助于有效管理生产和制造成本。此外,该设备的缺陷检测是其先进的CMOS传感器、12位A/D转换和3.4 μ m分辨率最灵敏、分辨率最高的设备,比传统检测技术高出近500倍。该机包括集成、高速图像处理、晶片级扫描以及实时结果进行评估和报告。它具有零波束扰动成像技术,有助于检测和评估子分辨率模式。该工具还集成了高级分析工具,如图像二值化、像素值分析和分类。此外,KLA SP1 DLS还采用高精度图像缝合技术进行缺陷审查和打印。TENCOR SP 1-DLS还设计用于减少停机时间和提高效率。该资产具有专利的"Go@@-To@@-Slice@@-Mode"功能,允许用户快速选择要检查的晶圆。这样可以提高吞吐量并减少浪费,从而显着节省成本。该模型的高速、低噪声分析能力使其比传统工具更高效。最后,SP1-DLS为业界最精确的检测提供了一套功能强大的自动检测算法。这些算法旨在检测小的关键特征缺陷、常规模式差异和其他异常。此外,该设备还具有方便用户的图形界面,用户可以查看各种统计信息并监测系统的性能。KLA SP 1-DLS掩模和晶片检测仪非常适合产生最可靠和准确的成像结果,并最大程度地覆盖缺陷。其行业领先的特点,如零光束扰动成像技术、高分辨率成像、集成图像处理、自动检测算法,使其成为高精度检测的理想选择。该机器还通过快速的切片模式功能来减少停机时间,从而节省成本并提高吞吐量。
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