二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9215544 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一种掩模和晶片检测设备，设计用于对半导体晶片和掩模中的缺陷进行快速可靠的检测和分析。该系统建立在KLA前沿、经过验证的成像技术之上,以确保最高的准确性和可靠性。这种自动化装置专为要求苛刻、体积大的环境下的高产生产而设计，适用于半导体制造设施、集成电路、电子材料工艺开发和在线分频计量学。KLA SP1 DLS使用高分辨率CCD相机光学器件来产生晶圆表面和掩模的高分辨率全画幅图像,然后将预期内容的图样迭加到获取的图像上。这样就可以更准确、更可靠地确定和描述缺陷。详细的图像可以通过背光和/或侧光技术得到进一步增强，并且提供比传统摄影方法更高的成像保真度。该机加载了多种用于缺陷分类和辨别的高级算法,例如Rayleigh-Solomon和/或带有高级图像处理的参数轮廓（PCAIP）。它还采用了一些缺陷类型和模式与预期轮廓进行比较。这种算法和技术的结合可以提高缺陷检测的灵敏度和准确性，进而可以改进过程控制和开发预测过程模型。TENCOR SP 1-DLS是一个独立的工具,需要最少的安装或设置。简单地将样品放入浅扫描室中，资产将负责休息，配有触摸屏液晶显示屏方便操作，并提供一系列用于数据采集、分析和缺陷确定的软件选项。高达150 mmx 100 mm的大扫描面积一次最多可容纳5个晶圆，帧速率可从每秒40到200帧调节。KLA SP1-DLS旨在通过提供更高的吞吐量、更快的缺陷识别和表征以及与半导体行业中的各种其他产品的兼容性来提高吞吐量和降低成本。它还降低了最终产品中出现中断错误和故障的风险。此外,KLA/TENCOR SP1 DLS易于使用,具有直观和用户友好的操作,并提供了全面的文档,从而缩短了登机时间并减少了学习曲线。