二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9221448 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1-DLS
ID: 9221448
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
System, 12" Process: Contamination detection Hardware configuration: Main system: Main mini environment platform SMIF System: (2) ASYST IsoPort Handler system: ASYST Axys model 21 robot Options: Bright field Vacuum system (Vacuum chuck) E84: Overhead load system Chamber components: ARGON Laser JDS uni-phase 75mW Chuck vacuum 2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS是为优化检测和分析过程而设计的前沿掩模和晶圆检测设备。KLA SP1 DLS具有先进的光学、大视场(FOV)和超高分辨率,它提供了一种自动化的解决方桉,可快速识别、表征和分类掩模和晶片表面上与表面相关的缺陷。TENCOR SP 1-DLS的关键组件是具有四射线光学功能的双激光扫描仪(DLS),可同时进行自上而下的扫描、侧视扫描和二维(2D)图像分析。该系统捕获关键缺陷信息,从而可以对掩模和晶片表面进行全面检查和分析。为了进一步优化表面检查,SP 1-DLS利用专有的高级算法根据形状、大小、位置和光学对比度对缺陷进行分析和分类。利用此功能,可以识别和分类表面级缺陷和不可见缺陷。TENCOR SP1-DLS还提供全面的报告功能,使用户能够生成高质量的预定义报告或自定义报告。这些报告详细介绍了关键缺陷信息,使工程团队能够快速诊断、评估和排除任何适用的掩码和晶片缺陷。KLA SP 1 DLS允许与其他软件程序和硬件或基于主机的个人计算机进行无缝集成以进行数据管理。该单元还能够实时管理缺陷并自动通知令人担忧的缺陷。它还提供了卓越的可靠性和可重复性,使客户能够准确、自信地评估表面缺陷。TENCOR SP1 DLS是业界领先的解决方桉,提供准确的缺陷检测和分析,以及提高上市时间的速度和效率。该机器能够提供全面、可靠的检查和分析,消除了停机时间,并降低了与手动检查和分析相关的成本。宽视野提供了检查各种表面缺陷的灵活性,而先进的光学和自动化过程则确保了表面缺陷的准确性和可靠性。KLA/TENCOR SP1 DLS是掩模和晶圆检测的理想解决方桉。
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