二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9226889 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一个掩模和晶片检查设备，设计提供卓越的图像质量和准确性。它利用先进的光学、照明和软件技术来提供高度详细的缺陷表征、高级自动化和易用性。该系统采用定制探测器设计，分辨率大于600万像素，从而提高了检测图样和污染缺陷的准确性。光学单元允许多个物镜允许用户选择不同的视场和放大倍率。计算机具有可重新配置的照明模块,可根据用户在图像中需要检查的缺陷信息,设置该模块以创建明暗场图像对比度。光线允许检查复杂的散射层，并能检测到剃须刀细线和微小甚至隐藏的缺陷。该工具有一整套专有的测量和缺陷检测算法。高级软件包括自动调整功能,可减少对算法参数调整的需求。因此,可以快速轻松地设置资产,以自动检测和表征尺寸小至6纳米的缺陷。此外，算法处理速度比前几代晶圆检测系统快几倍，以更具竞争力的价格提供快速可靠的结果。为了确保准确的检查结果,KLA SP1 DLS具有经过验证的、可追踪的校准模型。设备使用独立的参考晶片来测量和校正非理想的机器性能或环境变化。这样可以确保系统的重新配置保持在最低限度,并且结果符合指定的流程标准。该设备具有易于使用的图形用户界面（GUI）。GUI允许用户快速访问所有检查设置选项和相关数据。直观选择工具和报告功能可以快速引导用户获取相关数据。综上所述，TENCOR SP 1-DLS是一种可靠、功能强大的晶圆检测机，具有卓越的图像质量、更高的精度和更方便的设置。有了定制的检测器设计、先进的光学设备和一整套专有算法,用户可以确信该工具将提供准确高效的结果。