二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9227708 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一种先进的光学掩模和晶圆检测设备，设计用于精确的缺陷检测和管理。它是一个高性能的自动光学检查系统，配有先进的光学和复杂的算法，可以在纳米级检测和分类IC、掩模和晶片的缺陷和特征。KLA SP1 DLS单元提供了一套集成的硬件和软件技术,有助于加快复杂设备的生产。其先进的技术用于正面和背面检查，并提供自动缺陷审查。TENCOR SP 1-DLS机包括独立的Mask SCORPION检测工具作为其主要硬件组件。此资产能够检测正面和背面遮罩层的缺陷和缺陷。它包括一个最先进的、完全可编程的算法模型作为其硬件的一部分。它与Waferscope光学检查设备集成,用于全自动处理,使其能够在晶圆级别快速检测缺陷、异常或设备特定特征。这种深入分析有助于快速创建可用于减少生产延迟和最大限度提高产量的定制解决方桉。KLA SP1-DLS具有精确的对准系统,在高分辨率光学器件的帮助下,它甚至可以检查掩模层和晶片层的超小临界区域。它由高密度上升透镜（HDRL）供电,可在多个设备上提供无与伦比的可重复性和可重复性。SP 1-DLS还具有功能强大的自动缺陷审查（ADR）单元,可提供流程质量控制反馈和流程问题的早期检测。这有助于加快生产过程并降低总体生产成本。所有这一切，其复杂的矢量引导掩码晶圆对齐，确保一致的性能和无错误的结果。借助这些技术,它有助于快速跟踪产品产量优化,从而缩短周期时间并提高生产效率。KLA/TENCOR SP1 DLS是高精度、小尺度的掩模和晶圆检测的完美解决方桉。它有助于以极高的精度检测和快速纠正纳米级的误差和异常。而且它易于使用的界面允许用户简化生产并确保最小的延迟。凭借其特点，它旨在实现过程控制、精度和峰值生产率。