二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9232641 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1-DLS
ID: 9232641
Wafer inspection systems ASYST GEN3 Handler (Dual load ports), 12" Parts include: DLS Laser PMT Power supplies Spindle motor (Refurbished) BSC & Wave plate optical assemblies Optics assemblies.
KLA/TENCOR SP1-DLS是一种掩码和晶圆检测设备,它将高精度缺陷检测与快速、自动化的工作流结合在一起。它旨在提供快速、准确和可靠的结果,以帮助降低半导体行业的生产成本和提高产量。该系统采用了最新的缺陷检测技术,包括先进的算法和高速图像处理。这使设备能够快速、准确、可靠地检测、定位和分类缺陷。机器可以检测到各种亮场和暗场缺陷,包括临界缺陷、光刻热点和工艺不规则性。此外,该工具还可以灵活地使用各种分析技术来配置检查作业,包括自动聚焦、基于光谱的成像、不均匀样品的聚焦拼贴以及基于对比的分析。这样可以确保准确识别所有相关缺陷。KLA SP1 DLS的高级数据分析功能还使用户能够隔离和识别可疑区域,使他们能够快速诊断和纠正流程问题。系统直观的用户界面允许用户在不牺牲准确性的情况下快速、轻松地调整检测参数。此外,资产还有一个嵌入式统计分析包,允许用户比较不同晶圆和工艺步骤之间的结果。该模型旨在提供最大吞吐量和最小停机时间。设备的先进设计为给定的检测时间提供了最高的吞吐量,晶圆单步装卸。此外,该系统还配备了多轨晶片处理单元,能够同时加载和测量,使其成为大批量生产环境中的理想工具。总体而言,TENCOR SP 1-DLS是一种先进的掩码和晶圆检测机,可提供高精度缺陷检测、灵活的分析技术以及单一工具的快速吞吐量。它旨在提供可靠的结果,提高半导体制造的产量。
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