二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9255089 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是为满足现代半导体工厂的严格要求而设计的掩模和晶圆检测设备。该系统检查各种各样的晶圆模式，以极低的误报率提供准确的结果。使用KLA专有的嵌入式深度学习算法,KLA SP1 DLS在缺陷审查和分类方面实现了前所未有的准确性。该单元通过用显微镜对晶片表面进行成像，然后通过专门的软件对结果进行分析。然后可以识别模式中的缺陷,并按大小和类型进行表征和分组。机器还可以识别隔离和阵列缺陷,同时区分线宽、线宽/边缘锐度和线边粗糙度。TENCOR SP 1-DLS利用高度灵活可靠的晶片制备平台,使设备操作员能够快速轻松地准备晶片进行检测。这个平台足够坚固，可以承受重复的清洗程序，并且设计成最大限度地提高生产率和减少每晶片的零件数量。该工具具有自动化的文件传输和分析控制界面,使操作员能够在整个工厂以及上下游系统中快速轻松地传输信息。此界面还提供了一个直观的用户界面，使得从远程位置控制资产变得容易。KLA SP1-DLS包含高级审核验证功能,使操作员能够快速轻松地验证检查结果。此功能由TENCOR嵌入式深度学习算法备份，准确识别细微的模式变化。此外,该模型还跟踪工具指标和性能,使操作员能够快速轻松地诊断和诊断设备性能。总体而言，TENCOR SP1 DLS是一种功能强大、可靠、用途广泛的掩模和晶圆检测系统。它先进的嵌入式深度学习算法在缺陷审查和分类方面提供了卓越的准确性,而其自动化的文件传输和分析控制功能以及直观的用户界面使操作单元成为一种微风。它具有强大的晶片准备平台和审阅验证功能,有助于减少每晶片的零件数量,并且其工具计量功能为操作员提供了宝贵的性能信息。综上所述，SP 1-DLS现代半导体工厂的理想选择。