二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9257954 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一种先进的掩模和晶圆检测设备，用于检查用于制造半导体器件的光掩模的精度。光掩码用于在装有电子元件的半导体芯片上创建元件，掩码的质量对于生产高质量的半导体器件至关重要。KLA SP1 DLS系统具有多种复杂技术,可帮助确保对光掩码进行可靠、准确的检查,并监控过程更改和诊断缺陷。该单元的核心特点包括高分辨率微镜成像机、渐进扫描数码彩色相机、先进的图像处理算法以及集成缺陷检测工具。高分辨率微镜成像资产由一对数码相机与快速扫描照明结合而成。逐行扫描数码彩色相机在单个集成周期内捕获全彩色图像，而快速扫描照明则用于去除各种背景和表面伪影。TENCOR SP 1-DLS还提供高级图像处理算法。该模型结合了模式匹配、变换算法和基于滤波器的强度缩放算法来分析图像和检测缺陷。通过采用分步分析流程，设备能够快速识别潜在缺陷，即使在高度复杂的模式中也是如此。集成缺陷检测系统为分析潜在缺陷图像提供了方便用户的解决方桉。利用缺陷分析模板,用户可以方便地对图像进行缺陷检测和分类.分类完成后，可以使用自动化工具组织缺陷并生成报告。最后,KLA SP 1 DLS还具有自动缺陷缺陷比较单元,使用户可以比较多个光掩码或晶圆之间的缺陷。通过使用此功能,用户可以快速识别存在缺陷的区域或确定是否出现了新的缺陷。综上所述，KLA/TENCOR SP 1-DLS机是一种先进的掩模和晶圆检测工具，用于确保生产可靠的半导体器件的高精度光掩模。该资产采用多种先进技术，如基于高分辨率微镜的成像模型、渐进扫描数码彩色相机以及先进的图像处理算法，快速准确地检测和分类缺陷。集成缺陷检测设备提供了一种方便用户的缺陷图像检测方法,而自动缺陷比较系统允许用户比较多个晶圆和光掩码之间的缺陷。