二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9261865 待售
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KLA/TENCOR SP1-DLS是一种高度先进的自动掩模和晶圆检测设备,专为广泛的微电子应用而设计。它具有多种缺陷检测技术,包括手动、半自动和全自动检测模式。该系统由具有可变深度检测能力的高分辨率数字成像单元组成。它提供高分辨率的成像极化,用于分析掩模特性,如触点、线条和空间。它还通过电气测试来测量和校准半导体器件的性能特性和合规性。面罩和晶片检测机采用自动基板处理工具,快速准确地装卸测试基板。这样可以实现最大的吞吐量和效率,同时保持最高的精度和准确性。它还具有高精度透镜,用于捕获晶圆和基板的高清图像。这使资产能够捕获所有必要的缺陷信息以进行快速分析和报告。该模型的用户界面既直观又易于使用。它具有全屏校准设置和强大的图形用户界面,允许用户快速轻松地确定观察到的缺陷。用户可以直接与设备上的数据进行交互,从而能够快速准确地分析晶圆和掩模图像。该系统还具有远程监控功能,允许用户跟踪和分析来自世界任何地方的数据。这允许用户从任何位置分析基材和晶片,而无需存在。KLA SP1 DLS掩模和晶圆检测单元是为最高精度和精度水平而设计的。它可靠、易用,为广泛的微电子应用提供顶级性能。
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