二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267039 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一种先进的用于掩模和晶圆检验的计量工具。该设备结合了先进的光学和结构化的光投射技术，与晶圆和掩模检查能力，以精确监测生产表面。KLA SP1 DLS旨在快速、准确地检测和分类晶圆、掩模和其他基板上的缺陷。该系统利用成像、数字缩放和模式识别技术，以微观精度捕捉和测量特征。该装置设计用于检查各种基板，包括玻璃、陶瓷和半导体材料。该机器能够检测和区分可见粒子、不可见粒子和其他异常。它还能够检查纳米大小的粒子，这可以提供更详细的信息，说明任何特定缺陷的性质和复杂性。TENCOR SP 1-DLS利用一种具有先进照明技术的高灵敏度、远心5轴视图工具来获取不同角度的图像,从而在基板上提供广泛的覆盖。可以对资产进行编程,以检查各种检查目标大小、位置和测量级别。KLA SP 1-DLS能够生成具有多个曝光步骤的3D图像以进行进一步分析。高分辨率的车载彩色相机结合了先进的成像软件和分析算法，使模型能够根据缺陷的大小、形状和位置准确分类。该设备采用板载模式识别系统和统计算法，进一步帮助进行缺陷分类。高级数据记录软件支持SP1 DLS,以实现高效的数据采集、审查和归档。此外,SP 1-DLS设计为可扩展的,以便可以根据需要将其他传感器和模块集成到设备中。这样可以在检查过程中实现更多的自动化。总体而言，TENCOR SP1-DLS是一种功能强大、精密的面膜和晶片检测机器，具有先进的光学和成像能力。该工具的高分辨率成像、数字缩放和模式识别技术加上先进的数据分析算法，使TENCOR SP1 DLS能够准确地表征和分类不同类型的缺陷。这使得KLA/TENCOR SP1 DLS成为确保半导体行业高精度生产的宝贵资产。