二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267041 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一种前沿的掩模和晶圆检测设备,旨在为先进的半导体工艺提供全面的监控和检测能力。KLA SP1 DLS是一个模块化的高通量系统,每小时可处理多达600个晶圆,涵盖各种IC技术,包括尖端的FinFET。它具有业界领先的二维和三维成像技术，用于遮罩和晶圆表面的光学和扫描电子显微镜（SEM）视图。TENCOR SP 1-DLS可以快速检测缺陷和其他特征,包括表面拓扑、模式识别和迭加错误。由于其检查速度和准确性，该装置能够迅速准确地发现问题，从而能够进行更正，并减少进行昂贵的返工和维修的潜在需要。此外，该机还采用先进的图像处理技术和算法来支持自动缺陷分类和识别。KLA SP1-DLS允许高级分析功能,包括计量检查、逐层掩码检查、迭加错误检测和间隙检查。可以调整其自动刀具设置,以确保各种标记类型的最佳参数设置。这样可以更轻松地识别数据分析的特定参数,从而帮助优化资产的性能。该模型还具有高级联网功能,允许用户实时访问异地数据。这样可以确保在各种环境中进行分析和数据收集,从而实现更高效的性能。此外,该设备还具有用户友好的图形用户界面（GUI）,用于快速、直观地导航数据收集和分析工具。SP1 DLS提供了一整套功能，使其成为现代半导体工艺理想的掩模和晶圆检测系统。凭借其可靠准确的性能、快速的处理速度、图形导航和全面的分析工具，该单元是识别和消除最先进的集成电路生产过程中缺陷的必备设备。