二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9267043 待售

KLA/TENCOR SP1-DLS是一种最先进的掩模和晶片检测设备，适用于半导体晶片制造和工程中要求最苛刻的应用。它是一个全面的检测系统，能够在广泛的应用中检测多个缺陷。功能包括：提高灵敏度的多束扫描、用于检测小缺陷的高分辨率成像、使用斜光检测表面和地下特征的3D检测、用于快速缺陷修复周期的缺陷定位功能,以及用于一次处理多个晶片的高吞吐量。KLA SP1 DLS单元为检查高级点、线和区域缺陷提供了灵活、经济高效的解决方桉。它有一个大型的视场成像机，用于大面积的检查，并且可以捕获高达310毫米（12.2英寸）晶圆的亮场、暗场、边缘检测、对比度增强和3D表面测量。它还具有各种图像分析功能来检测半导体制造过程中可能出现的各种缺陷。此外,TENCOR SP 1-DLS工具还提供独特的图像跟踪功能,以帮助确保扫描过程中的精度和准确性。该资产还配备了先进的照明能力，提供倾斜和正常照明的组合，以及各种偏振方桉，以检测表面和地下缺陷。这使用户能够使用传统的检查技术检测难以观察到的缺陷,并提高缺陷定位的准确性。KLA SP1-DLS模型能够集成到任何生产环境中。它还具有实时统计过程控制（SPC）和数据标记功能,可用于快速决策和缺陷管理。该设备提供了强大的软件和硬件的组合,允许强大而灵活的在线可调缺陷阈值和检查速度。此外,该系统设计为易于安装、集成和维护,可提供易用性并支持高吞吐量性能。综上所述，TENCOR SP1 DLS是一种用于掩模和晶片检测的综合解决方桉，旨在提供可靠、准确和快速的异常和缺陷检测。它是一个经济高效、用户友好的单元，适合半导体行业最苛刻的检验应用。