二手 KLA / TENCOR SP1-DLS #9375212 待售
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KLA/TENCOR SP1-DLS是由全球流程控制和产量管理解决方桉提供商KLA开发的掩模和晶圆检测设备。该系统旨在使半导体和电子行业的制造商能够快速准确地检查其掩模和晶圆设计是否具有尺寸保真度和像素精度。该单元利用先进的成像和模式识别技术扫描和分析所有分辨率和长宽比的掩模和晶片设计。KLA SP1 DLS是一种自动化机器，将照明和计量控制结合到一个单元中，以精确检查掩模和晶圆表面。它旨在提供快速、可靠的数据比较和验证,使用户能够快速识别异常或缺陷并分析其对产量的影响。该工具包括多种对齐模式和3D地形特征，允许用户在晶圆和掩模上两个方向测量和表征结构；一个在X-Y平面中,一个在Z平面中。该资产利用高分辨率数字成像设备和高精度扫描仪来获取和显示掩码和晶圆表面的图像文件。该模型能够以高达300纳米的分辨率进行图像捕获。通过直接内置在系统中的用于精细特征扫描的微型望远镜设备，进一步提高了数据精度。该单元配备了一套用于图像处理和分析的高级软件工具，包括一个3 D地形工具，允许用户在晶圆或掩码上以三个维度测量高度、宽度和其他特征。机器还包括缺陷检测和比较工具，可用于比较来自不同掩模或晶圆的图像，以检测和监视任何大小差异。该工具支持各种行业标准数据格式,如GDS-II、Oasis等。除了复杂的成像和分析能力外，TENCOR SP 1-DLS资产还提供大量的产量分析和过程控制功能。模型既包括几何检查报告生成器（可生成缺陷大小和位置报告）,也包括工艺窗口优化工具（可分析和调整每种产品的工艺窗口设置）。该设备还提供了完整的缺陷审查和跟踪功能以及用于掩码和晶圆比较的用户定义公差矩阵。总体而言,KLA/TENCOR SP 1-DLS是一种先进的掩模和晶片检测工具,可为制造商提供快速准确分析其掩模和晶片设计的方法。它具有一整套成像和分析工具,以及产量分析和工艺控制功能,使制造商能够优化其生产产量并提高其整体工艺性能。
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