二手 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9049199 待售

KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS是一种高精度、自动化的掩模和晶圆检测设备。该系统提供了各种各样的工具，旨在检测集成电路生产过程中蒙版和晶片中的错误。它有助于降低与产品发布前的重新掩蔽、重新检查和其他纠正修复任务相关的成本。KLA SP1 Surfscan DLS可以检测薄膜缺陷、峰谷高度测量等表面地形特征以及其他类型的结构和电气缺陷等错误。该单元使用复杂的算法快速准确地检测晶圆和掩模表面的缺陷。它还支持广泛的集成电路设计，允许用户快速可靠地检测任何设计中的错误。TENCOR SP1 Surfscan DLS拥有一台用于捕捉缺陷图像的高分辨率彩色成像CCD相机，一台可配置以适应各种角度和高度以达到最大精度的高品质照明机器，以及一个在需要检查时精确移动掩模和晶片的自动化机械舞台。它还具有几种自动化和半自动化软件工具,例如用于线路模式修复和分析的E-field校正、用于表面成像和缺陷评估的自动化工具以及自动模式识别等。使用SP1 Surfscan DLS，用户可以通过创建定制的工艺图和覆盖产品流程来轻松获得生产流程的全面视图，以监控不同生产线的性能。该工具还支持多个晶圆检测和缺陷分类功能，以确保每个产品都经过准确可靠的测试和检查。通过使用KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS,用户可以在生产过程中发现潜在问题,使其变得严重,从而降低与重新检查、返工和维修相关的成本。总之,KLA SP1 Surfscan DLS是一种功能强大但用户友好的掩码和晶圆检验资产,有助于确保产品质量和可靠性。它具有高级算法和自动化软件工具,可快速准确地检测错误,可定制的流程图和互补的产品流程为用户提供了生产流程的全面视图。它的用户友好界面使用户能够在生产过程中准确高效地检测口罩和晶片的缺陷，帮助降低成本，同时提高产品质量。