二手 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9262807 待售

KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS是为大批量生产环境而设计的掩模和晶圆检测设备。它提供高吞吐量和准确的自动化缺陷检查。用于先进IC、MEMS、晶圆、掩模等微电子元件的尖端生产。该系统提供高分辨率的光学覆盖,用于比较精确对齐的图像。KLA SP1 Surfscan DLS可以在检查过程中准确测量元件参数之间的关系。该单元与一系列Chroma Machine Vision技术集成在一起,使其能够以较大的动态范围捕获这些组件的详细图像。机器还有一个自动缺陷识别软件，可以检测各种各样的缺陷。TENCOR SP1 Surfscan DLS提供了多种功能,可显着降低与掩码和晶圆检查相关的成本、时间和复杂性。这包括对颗粒、线条、标记和其他缺陷的自动检查。它配备了可重复结果的自动校准，也消除了人工检查过程。Themachine还能够高速并行处理，每小时高达200个晶圆，使其快速完成大型检查作业。它可以用多种配方设置进行编程，使其能够处理各种不同的任务和检查标准。此外,SP1 Surfscan DLS与自动晶圆映射集成在一起,为缺陷分类提供了额外的步骤,并消除了手动标记的需要。它还具有直观的用户界面，可用于快速编程和更改作业设置。该工具包括一个广泛的覆盖范围和一个先进的聚焦资产，用户可以放心地在单个晶片上检查各种不同的位置。总体而言,KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS提供了针对工业生产环境优化的高性能掩码和晶圆检测解决方桉。它的自动化检查功能显着减少了与晶圆检查相关的时间和复杂性,直观的用户界面使其易于编程和调整作业设置。它的性能和可靠性使得它成为生产IC、MEMS、晶片、掩模和其他微电子元件的绝佳选择。