二手 KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9262958 待售

KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS是一种用于扫描和开发后缺陷检测的掩模和晶圆检测设备。它结合了先进的光学检测、可靠的数据完整性和全面的评估控制功能,在晶片上实现了可靠可靠的缺陷检测。Surfscan DLS是用于半导体测试和检查的强大工具,可提供业界领先的灵敏度、准确性和屈服性能。该系统结合了三种不同的检测策略：用于翻转芯片生产的晶圆与数据库比较、用于检测平面图样时的运动补偿以及用于掩模缺陷的图样检查器。模式检查器组件以最可靠、最准确的检测算法为检测缺陷提供了全面的指导。此外，它还可以检测制造和后制造过程中的缺陷。该单元使用高级算法检测晶圆上的缺陷并对其进行分类。它结合了大小、形式、强度和对比度等属性，准确地对每个缺陷进行分类。该算法支持多种缺陷类型,包括开路/短路、线性和桥接缺陷、隔离和聚类缺陷以及背面缺陷等。机器提供各种测量功能,能够对每个缺陷进行深入分析。可以导出每个缺陷的缺陷特定信息以进行进一步分析或查看。此外，用户可以选择一系列与缺陷相关的参数来有效地分析缺陷。带有可调网格线的颜色编码地形图可方便地分析布局错误。最后,Surfscan DLS配备了多项功能,以确保可靠的数据分析和改进的工作流程。它支持自动主动偏差通知和缺陷跟踪工具,能够快速高效地分析和复制缺陷群集。此外，资产包括与其他KLA系统的完全集成，允许与掩码和光掩码检查工具集成。总体而言,KLA SP1 Surfscan DLS是一种非常有价值的工具,可用于有利可图的高效半导体检测。它提供了强大的光学检查、强大的数据集成以及全面的评估控制功能,可提供最佳的缺陷检测和屈服性能。