二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9082120 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一种先进的面罩和晶圆检测设备。利用先进的双光束检测技术，实现了对微芯片缺陷的快速可靠检测。该系统能够检查各种特征,从线宽到间距、缺陷、边缘放置误差和其他类型的不规则性。KLA SP1-TBI SURFSCAN单元由三个主要组件组成：光学阅读器、智能光学检测单元和模式识别引擎。光学阅读器由两束超快激光束组成，可用于测量掩模或晶圆表面的宽场点。探测器使用智能传感单元收集晶圆特征的信息，如线宽、间距和不规则性。它还提供了适合于二维和三维空间测量的精确结果。模式识别引擎负责分析光学阅读器和检测器收集的数据，并根据收集到的信息做出决策。它可以执行各种任务,例如识别线宽、检查边缘放置错误以及查找电路中的电流短路。此外,它还可以从所提供的掩码和晶圆图像中检测到新的、看不见的缺陷。总体而言,TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一种强大可靠的掩模和晶圆检测机.它旨在提供快速的结果，并保证在检查各种应用的掩模和晶片时的准确性和可重复性。该工具具有高灵敏度和检测能力,可确保以最高的质量和可靠性标准制造芯片。