二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9082121 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是为高精度半导体生产而设计的先进的掩模和晶圆检测设备。它是KLA首次推出的Surfscan系列车型，于2004年商用。该系统是一个自动化的无损检测单元，能够检查和分析用于缺陷检测和分类的掩模和晶片。机器的双源高分辨率光学成像有助于检测缺陷。这提供了高对比度图像的宽视野，同时扫描光传感器测量过程中的反射光强度。该工具配有集成的晶片夹紧机构，并具有确保晶片放置准确和稳定的尖锐特征。所有这些因素共同使资产非常适合检查晶圆的不同形状、大小和复杂拓扑,同时保持高分辨率。KLA SP1-TBI SURFSCAN的主要特点之一是其先进的缺陷分类能力。它使用基于软件的专有算法,允许将缺陷自动分类为故障类型,如线缘粗糙度、调制、触发器、螺纹和桥接。这种自动化的特性使经过检查的掩模和晶片设计能够准确评估产量和可靠性。TENCOR SP1-TBI SURFSCAN还能够报告基于图像的过程控制数据，这在半导体生产中极为重要。此数据包括线宽测量、缺陷密度、蚀刻非均匀性、填充和填充深度。这使制造商能够完全控制其生产过程并获得对其的关键洞察力。SP1-TBI SURFSCAN是确保半导体设计生产尽可能高质量的宝贵工具。它是一个集成的模型，能够提供对掩模和晶圆设计的快速和精确的分析，从而为制造商节省时间和金钱。同时，它提供了一种有效的方法来确保过程的准确性和可靠性，确保所生产产品的最高质量。