二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9097041 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一种设计用于微电子生产的最先进的掩模和晶圆检测设备。这种半导体生产系统提供全面的表面缺陷检测功能,使用户能够识别蒙版和晶片上的最小缺陷,其尺寸可降至0.02微米。KLA SP1-TBI SURFSCAN由几个单元系统组成，包括掩模检查组和晶圆检查组。MIU提供了先进的缺陷检测功能，是大批量生产的绝佳选择。该单元允许在Mask模式上进行高度精确的亚微米缺陷检测,精度高达0.3微米。WIU提供了其他功能,允许对线键和其他外部缺陷进行缺陷检查。除了先进的缺陷检测功能外,TENCOR SP1-TBI SURFSCAN还提供多种成像选项,使其能够检查各种不同的功能。其中包括特征大小、长宽比和线宽/间距。它还提供独特的角度补偿和位置跟踪功能,使其能够准确快速地检测传统光学系统难以检测到的缺陷。SP1-TBI SURFSCAN还能够提供高保真成像解决方桉。这利用了先进的算法，可以呈现文本，图像，和模式上的面具有很大的细节程度。此外,该单元允许在3D晶片上进行快速、准确的测量,并具有高分辨率的模内特性,为生产线自动化提供可靠的结果。同时,这台机器提供了强大的实时缺陷分析功能,用户可以选择即时保存和分析结果。总体而言,KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一种先进的生产工具,使用户能够准确识别口罩和晶片上的缺陷。它提供精确的测量和高保真成像，具有高度的细节和质量。此外,它还具有可靠的缺陷检测功能,可帮助用户检测最小缺陷（最小缺陷可达0.02微米）。KLA SP1-TBI SURFSCAN具有灵活的成像选项和强大的缺陷分析功能,是半导体生产线的理想选择。