二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9113669 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一种掩模和晶片检查设备,旨在检测图样掩模和晶片上的物理和电气缺陷。该系统由高分辨率、光学成像单元、算法缺陷审查和软件控制组成。该机器能够对高达200毫瓦的入射光进行成像，以检测尺寸小至0.3微米的缺陷，并能够检测到原本看不见的罕见缺陷。该工具利用20倍放大光谱成像资产和10倍物镜，获得同类中分辨率最高的缺陷检测。该模型能够检测随机物理缺陷以及可能导致晶片或掩模的电气性能受损的电气缺陷。此外，设备还能够检测到任何晶片对晶片和晶片对掩码的注册问题，使操作员能够快速解决由陡峭的注册问题引起的任何问题。该系统包括各种专有算法，这些算法可以快速准确地操作，以检测图桉化掩码和晶片上的物理和电气缺陷。这些算法能够检测到标准光学成像可能无法看到的缺陷。这些算法旨在识别和测量掩模到掩模和晶片到晶片配准的缺陷。KLA SP1-TBI SURFSCAN单元旨在帮助客户快速准确地识别生产过程中的任何物理或电气缺陷。此外,该机器与各种行业标准检查程序兼容,使客户能够轻松地将其现有系统集成到TENCOR SP1-TBI SURFSCAN平台中。该工具旨在为用户提供快速、可靠的缺陷检测。