二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9117563 待售
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KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一种精密的掩模和晶片检测设备,旨在确保实现极高的产量和无缺陷的生产。它提供了一系列高级功能,以最大限度地提高蒙版和晶圆检查过程中的效率和准确性。利用创新、先进的成像技术(IT)算法,它能够快速检测到10 nm以下的缺陷。该系统利用强大的数据集成功能,可实现高速图像分析和快速自动缺陷校正。直观的图形用户界面(GUI)使操作员能够轻松快速有效地调整设置、运行检查和查看结果。高级颜色映射功能有助于加快识别缺陷的任务,而且它配备了独特的优化图像分析(OIA)技术,可以更快地处理缺陷数据,帮助加快掩码和晶圆检查过程。为了进一步提高其结果的准确性,该单元采用了误差放大分析技术,使其能够有效识别最小的缺陷。此外,该机器设计为与KLA内部VisionQC图像分析软件等软件完全兼容,从而实现了两个系统之间的快速高效数据传输。其他功能如图像模式聚类(IPC),一种基于软件的缺陷识别算法,确保操作在交叉引用图像数据时保持高效和准确。总体而言,KLA SP1-TBI SURFSCAN掩模和晶圆检查工具提供了自动检查、分析和缺陷校正的出色组合。其先进的IT算法能够检测到难以置信的小缺陷,而直观的GUI和数据集成功能可确保快速、准确地执行操作。它是一种功能强大的资产,旨在提高掩模和晶圆检查的准确性,同时帮助最大限度地提高产量并确保无缺陷生产。
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