二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9217636 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN掩模和晶片检测设备是一种自动化工具,用于制造前晶片和掩模的特征级缺陷检测。该系统旨在满足半导体行业目不转睛的检验要求。Surfscan系统利用先进的光学设计和专有的图像处理算法,在特征级别准确检测所有类型的晶圆和掩码缺陷。Surfscan单元的光学设计采用了两种激光器；一个用于成像，另一个用于照明。这两种激光器产生均匀的定向偏振光束，然后通过一系列光学器件将其定向到晶圆或掩模。这种布置使得可以对晶片或掩模表面进行完整的360的扫描，提供诸如划痕、颗粒和凹坑等缺陷的详细图像。Surfscan机器的专有图像处理算法允许以高通量精确检查晶圆和掩模表面。该算法利用边缘检测和子像素范围对比度分析来分析所产生图像的每个像素。此分析用于识别精度较高的缺陷。Surfscan检查工具还具有自动聚焦和剪切补偿功能,可对包含近端和远端缺陷的样品进行准确的缺陷检测。有一个集成的晶圆处理资产，可以自动和手动装卸样品。该模型能够检验多种类型的材料，包括硅、碳、氮化物、氧化物和氧化ha。它还能够以高达15微米的速度进行扫描，从而能够精确检测所有类型的缺陷。Surfscan设备具有很高的可靠性和准确性,非常适合各种危险特征检查应用。它也非常适合需要低成本、高级缺陷检查功能的应用程序。