二手 KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9227710 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN是一种先进的掩模和晶圆检测设备，用于识别和检测集成电路中的缺陷。它设计用于多个前端处理步骤的自动检查，并提供掩模和晶圆特性的详细测量，以确保持续提高产量。该系统配有敏感的光学子系统，可以检测和测量晶圆和掩模上的亚微米特征和缺陷。它提供4像素或16像素配置,两者均采用顶级双能量白光场技术,能够以高达90 nm的分辨率分析双反射和透射模式图像。此外，该装置还配备了获得专利的Z-Stage真空间隙采集级，对所有基板上的表面特征进行快速准确的测量。KLA还采用了TrueBright™图像增强技术,进一步降低了灵敏度阈值,提高了检测到的缺陷的信噪比。KLA SP1-TBI SURFSCAN允许用户使用多种算法快速分析晶圆和掩码信息。它能够识别各种缺陷,包括划痕、毛孔、空隙、颗粒、颗粒壁、线缘粗糙度、表面污渍和沟槽。先进的缺陷检测算法可以检测与过程或几何相关的缺陷,最低可达0.14 um。机器还提供了几种自动化和可定制的测量功能，包括临界尺寸分析、地图可追踪性和批量分析。此外，TENCOR SP1-TBI SURFSCAN被编程为使用户能够无缝集成他们现有的晶圆跟踪软件。该工具还包括一系列用于收集、可视化和分析结果的内置工具。它也可以在自动化的生产环境中操作，允许快速灵活的性能评估和缺陷/参数分析。简而言之，SP1-TBI SURFSCAN是一种全面的掩码和晶圆检测资产，提供准确可靠的缺陷检测和测量能力。它提供了一系列先进的光学和分析功能,旨在为持续的缺陷和屈服增强提供快速、高屈服和准确的解决方桉。