二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #293678701 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一种用于自动晶圆检测、监控和过程控制的掩模和晶圆检测设备。这个先进的系统能够检测和纠正各种半导体材料中的关键和非关键缺陷。该单元使用了几个不同的组件,以准确、快速和高效地启用为关键的流程工具。基板处理是一个关键组件,机器利用一个独特的、定制的自动定位阶段来精确地操作、定向基板并使其与光学器件对齐。此过程是完全自动化的,能够实现高度的准确性和吞吐量。KLA SP1T-BI采用远心光学透镜，以最大限度地提高临界特征采样，提供一致的成像质量，并减少因倾斜而产生的放大倍数变化。该工具使用高清CCD相机和激光二极管光源阵列来检查晶片表面。相机资产提供高分辨率、高速成像，甚至可以区分最小的缺陷。该模型使用可靠的合格图像存档（QIA）构建,该存档提供对给定基板执行的所有检查的详细记录和报告。QIA存储检查前后捕获的所有图像,从而实现高效的数据存储和分析。该设备还能够进行缺陷图自动分析，从而能够检测空间缺陷，并有助于缺陷验证、检测和分类。TENCOR SP1 TBI还采用了行业标准的Align-Optimized Site/Strip扫描技术,该技术可实现在同一基材中跨多个sties/Strips的自动化高通量、可靠和精确的模式匹配。该系统是可校准的，为用户提供了对比度、亮度和最小化尺寸等图像参数的完全控制，以更好地调整手头的检查任务。SP 1-TBI是一个功能广泛、功能强大的单元,比传统的晶圆检测系统有了显着的改进.不同组件和技术的结合使这台机器成为自动晶圆检查、监控和过程控制的强大而关键的工具。它专为在专用清洁室环境中运行而设计，并以其易于使用的界面和自动化的工作流程，适合任何工业应用。