二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #293823422 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI的设计目的是为过程控制和监控提供对掩模和晶片的大视场检查。该设备能够从整个部门收集数据，每秒最多检查200个抽样点，从而全面涵盖微妙的缺陷和非统一性。KLA SP1T-BI围绕两个主要功能构建：其成像系统，可准确检测缺陷地点；以及其自动分析模块，该模块确定了缺陷的原因并提出了适当的纠正措施。该单位先进的光学和成像系统使用紫外线和可见光检测肉眼不易看到的污染物和小缺陷。TENCOR SP1 TBI包含两种类型的光源：紫外线激光器（用于探测小至十分之一微米的粒子）和白光（用于照亮晶片和用于成像的掩模）。机器的探测器配备了检测器放大器，在检测缺陷时允许更高的精度和灵敏度。工具的自动分析模块（AAM）是识别缺陷原因的强大工具。AAM对样品进行物理和化学分析,并生成一份报告,列出两者的结果。通过使用AAM,用户可以快速准确地评估掩模或晶片缺陷的原因,并采取适当的纠正措施。KLA/TENCOR SP1 TBI设计为易于使用和维护。它具有直观的图形化用户界面,使用户能够快速设置扫描参数并操作资产的功能。该模型的设计要求用户尽量减少干预，使其适合于在流程控制和监控至关重要的大批量生产应用程序中使用。TENCOR SP1-TBI是一种用于掩模和晶圆检测的可靠、可靠且经济高效的设备。其先进的光学和成像系统可快速检测和检测小缺陷，其自动分析模块可快速识别缺陷原因并提出纠正措施。该系统易于使用和维护,非常适合用于大批量生产应用。