二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9145376 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1-TBI
ID: 9145376
Inspection system Cassette with open handler.
KLA/TENCOR SP1-TBI是一种掩模和晶片检测设备,旨在方便快速准确地测量晶片上的缺陷水平。该系统具有很高的性能,非常适合用于从半导体生产到MEMS制造等多种应用。KLA SP1T-BI的核心是它的2D成像技术。这项技术允许它以快速扫描的速度以高精度检测小缺陷。它配备了超快、1200万像素的低密度CMOS探测器,使其能够实时捕获高分辨率图像,使其能够检测到掩模和晶圆轮廓的细微变化。该单元还具有集成的复杂图像处理和分析算法,如3D图像分析,可以测量掩码和晶圆地形,揭示图样中的缺陷,并量化图样特征的不均匀性。此外,机器能够提供关键过程控制参数的快速反馈,如配准偏移和放置精度。这使得该工具非常适合流程开发和流程监控应用程序。TENCOR SP1 TBI旨在为掩模和晶圆检测需求提供灵活、全面的解决方桉。它的模块化设计使其易于集成到现有的制造过程中,而且其用户友好的图形界面和直观的操作使其易于使用。此外,由于其可靠性和准确性,它非常适合用于长期生产运行。它还具有高级流程控制、审核跟踪和诊断功能,使其能够保持在校准参数之内,并能够检测和报告任何违规行为。总体而言,KLA SP1 TBI是一项先进的成像资产,可提供快速、准确和全面的成像功能,这对于掩码和晶圆检查至关重要。凭借其高性能成像技术、精密的图像分析算法以及全面的过程控制和审核跟踪能力,该模型是研究和生产的理想选择。
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