二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9163053 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是为高性能应用而设计的灵活配置的掩模和晶圆检测设备。它基于经过验证的SP1平台，采用先进的模式匹配算法、可编程聚焦光学、1600 x 4096分辨率CCD相机等新技术。该系统既经济高效,又具有很高的可扩展性,对具有各种价格与性能需求的用户具有高度的灵活性。KLA SP1T-BI配备了最新的高速光学和先进的照明，以满足最新的蒙版和晶圆检测应用的需求，包括3D和线条/空间特性。其强大的模式匹配、图像处理和缺陷分析算法有助于产生准确可靠的结果。该单元具有先进的自动聚焦和曝光控制功能，可自动调整聚焦和照明设置，以确保获得最佳效果。TENCOR SP1 TBI专为超高检测吞吐量而设计，具备高速索引、高速成像、多任务能力。该机设有4轴三轴级，用于检查多个区域以及复杂的几何特征。通过其多任务功能，它允许用户在忙于其他任务的同时设置作业无人值守运行。除了强大的功能外，KLA SP1 TBI还配有用户友好界面，为操作员提供指导。它还包括一个直观的用户界面，带有检查参数和数据记录的图形提示。此外,该工具还配备了多种分析工具,包括缺陷尺寸测量和铜对玻璃检查。总体而言，SP 1-TBI是高精度掩模和晶圆检测应用的可靠且经济高效的选择。其高速光学、高级算法、直观的用户界面和灵活性使其成为寻求经济高效且可扩展的解决方桉的客户的理想解决方桉。