二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9226564 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1-TBI
ID: 9226564
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Wafer surface analysis system, 8" 2001 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI是一种高性能的掩模和晶圆检测设备,旨在满足全球半导体制造商的苛刻要求。KLA SP1T-BI配备先进的专用紫外线激光器,能够快速、准确地测量确保高级工艺控制所需的关键几何形状。该系统旨在提供优越的表面、关键参数和迭加测量,以及与大体积工艺节点相关的特征大小。它集成了多种成像、传感和激光工具,为故障诊断提供了缝合和缝合敏锐度的高级组合。TENCOR SP1 TBI的设计考虑到了最高的生产力水平,它具有250毫米扫描仪平台,具有快速、可靠的晶圆处理能力,并具有高速缝合能力,可进行高效的模式和对齐调查。该股还包括一套可靠的分析和数据处理工具,以支持自动化生产和质量控制过程。该机器旨在支持各种检查和审查任务,包括对不同类型结构的高级过程控制要求。TENCOR SP1 TBI采用了公认的最佳光学技术,如明场、暗场和相位对比度成像,提供了增强的高分辨率成像功能,可以精确识别最小的缺陷。该工具还具有强大的晶圆对准功能,可提高速度和精度。它可以精确地自动检测和量化任何基板覆盖误差或纹理问题,并包括支持在线和离线测量的各种高级软件功能。此外,TENCOR SP1T-BI运行多种先进的晶圆级测量和检测解决方桉,如先进的像素级缺陷检测、OCR技术以及对多种图样化技术的支持。其增强的稳定性使得能够在从光掩模到晶圆的各种基板上确定测量结果。此外,KLA SP1 TBI还提供高级流程控制功能,允许实时测量和对齐反馈。其先进的控制和能力分析增加了流量和吞吐量,提高了产量,减少了浪费。总体而言,KLA SP 1 TBI是一种功能强大且可靠的掩模和晶圆检测资产,可提供卓越的成像、传感和激光功能,以获得准确的结果。KLA/TENCOR SP1 TBI具有强大的软件功能和先进的过程控制功能,对于各种质量控制和工程任务至关重要。KLA/TENCOR SP 1 TBI是需要可靠、快速、准确结果的半导体制造商的理想选择。
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