二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9257857 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一种面膜晶片检测设备,是一种自动检测系统,旨在检测关键缺陷,以生产出质量最高的晶片。它用于检查有图样或无图案的设备掩码、晶片和标线是否有缺陷,以便以最高的精度和效率进行评估。该单元在不依赖主观判断的情况下对图像进行分析，而其高分辨率光学和高精度算法缺陷检测能力能够对各种掩码和晶圆类型的缺陷进行检测和分类。KLA SP1T-BI的光学机器利用具有可重复成像的大视场（FOV）目标,结合专有算法和旨在减少耀斑和均匀性误差的光学设备,为每个光学场生成可靠和可重复的数据。该工具还具有可编程激光条带照明功能,该功能针对掩模成像进行了优化,可实现高达0.45 μ m的标线分辨率和0.28 μ m的掩模检查分辨率。硬件还包括用于自动晶圆交换的晶圆握把组、红外成像能力以及可编程的机械臂，该臂从一个资产位置移动到另一个资产位置，以便于晶圆和掩模装卸。功能强大的Vision Analyzer软件集成了所有硬件组件和图像的高级算法处理,并配备了人工智能（AI）支持的智能缺陷检测技术,提供准确、可靠的图像分析,可促进表面和地下缺陷检测。而且，TENCOR SP1 TBI是为高通量应用而设计的，具有快速检查和执行自动化。此模型在短时间内检查数百个零件,并通过高分辨率彩色成像准确地提供结果。它允许用户控制设备的参数，如像素大小、光源、曝光时间、缺陷大小等等，进一步保证了检查的准确性。此外，系统还具有易于操作和参数控制的人性化界面。总之,TENCOR SP1 TBI是一种可靠、强大的掩模和晶圆检测装置.其硬件和高级Vision Analyzer软件的实施提供了可靠的缺陷检测功能,以及自动晶圆交换和高通量选项,以生产出质量最高的晶圆。