二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9266303 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一种独立的半自动掩模和晶片检测设备,它利用接触图像传感器（CIS）来识别与掩模和晶片处理相关的故障。该系统设计用于对各种掩模和晶片的缺陷进行快速准确的检测，以及从亚微米到毫米的粒子检测。该单元有一个五英寸的非接触式光学级，用于装卸掩模或晶片。加载后,舞台相对于CIS光束移动以生成掩模或晶圆表面的数字信号表示。将生成的数十万个信号与原始扫描数据并排进行比较，以检测任何缺陷。KLA SP1T-BI还配备了自动缺陷分类机，能够区分颗粒、划痕和其他随机缺陷，并对其进行相应分割。此外，该工具能够检测芯片/通过故障，抵抗残留，节点，电线和痕迹。通过先进的图像配准算法来保持资产的准确性和速度。各种允许轻松操作物理样本的功能增强了用户体验。该模型提供了两种选择感兴趣区域（ROI）的方法：手动选择和自动对齐。手动选择允许用户选择任何感兴趣的区域，开始检查过程；自动对齐模式从预先存储到设备中的参考图像中选择ROI。在任何掩模或晶片检验过程中，结果的质量取决于施加在样品上的照明的均匀性。TENCOR SP1 TBI采用统一的可编程照明器来创建统一的照明场。照明器可编程，允许动态选择不同波长，使各种样品缺陷得到独立处理。总之,SP1 TBI是一个高效可靠的系统,用于精确、自动化的掩模和晶圆检测.该设备具有图像配准算法和统一的可编程照明器，以及自动缺陷分类机，是高通量掩码和晶圆检测应用的理想选择。