二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9277484 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是为要求最苛刻的掩模和晶圆生产环境而设计的先进的掩模和晶圆检测设备。该系统采用高分辨率、1200万像素CCD摄像头，提供优于传统系统的图像对比度和清晰度。该单元允许多种非接触、自动检查技术，如差分干涉对比度显微镜（DIC）、亮场显微镜（BF）、暗场显微镜（DF）、聚焦离子束（FIB）和扫描电子显微镜（SEM）。该机器还使用户能够检查各种不同类型的图样特征,包括线宽、空间和频率,以及成品掩模和晶片中存在的缺陷。该工具能够提供实时、高通量的数据采集和自动图像采集、导航以及检查数据的优化。这样可以快速、准确地分析和审查检查过程中发现的任何缺陷或差异。KLA SP1T-BI还拥有高达720帧/秒的高采样率（FPS）。这使得它适合快速检查高分辨率和高频特性。资产也有广阔的视野，可以在短时间内检测到小缺陷。它还具有使用形态算法自动检测和分析缺陷的先进视频处理能力。这有助于最大限度地提高检验数据的定量准确性。TENCOR SP1 TBI也有很大的内存容量，允许它存储图像和处理过的数据进行长期存档和审查。所有存储的图像和数据都可以直接在模型的显示屏上检查,也可以传输到PC进行进一步分析。综上所述，KLA/TENCOR SP1 TBI是一款功能强大且先进的掩模和晶圆检测设备，旨在提供最高水平的精度和速度。它具有高分辨率摄像头、广阔的视野和先进的视频处理功能,所有这些功能都能够快速准确地检测缺陷。该系统还具有较大的内存容量和易于使用的界面，用于快速导航和检查数据审查。