二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9293511 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一种掩模和晶圆检测设备，旨在为半导体制造过程提供可靠和准确的缺陷检测。该系统基于最先进的TBI（瞬态光束检测）技术，允许诊断照明，即使是最轻微的问题也能迅速暴露出来。KLA SP1T-BI是一种用于精密半导体制造的半自动检测工具。它旨在检查在最先进的光刻制造设备上制造的逻辑和内存设备。它使用了一系列激光器以不同波长和角度脉冲光线，使敏感特征在短时间内实现高分辨率成像。这样可以准确检测缺陷,从大缺陷到亚微米细节。该单元的精度通过其ControlScope技术得到进一步提高，允许操作员根据其期望的性能调整参数。为了评估缺陷,该机器使用专有的测量算法和软件工具（如缺陷审阅编辑器和缺陷匹配）构建。这有助于识别各种类型的缺陷,并提供有关缺陷的大小、形状、深度和位置的信息。TENCOR SP1 TBI配备了高度灵敏的校准和线性CCD检测器矩阵，用于精确成像和更精确。其扩展的聚焦成像技术中和了灰尘和失焦缺陷的影响，允许快速、准确的检测。该工具还为各种数据格式提供了可靠的CAD（计算机辅助设计）数据支持,从而实现了快速设置和高效的过程控制。此外,资产还可以创建报告,其中包含有关故障和缺陷的详细信息,以便进行全面的过程分析和可追踪性。这些特性使SP1 TBI成为半导体制造中有效的掩模和晶圆检测的理想解决方桉。其最先进的TBI技术、可靠的CAD数据支持、控制参数和扩展聚焦成像技术可快速、准确地检测各种类型的缺陷,从而实现产品质量一致和产量更高。