二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9351867 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1-TBI
ID: 9351867
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2003
Inspection system, 8"-12" Options: BF Open single handler Vacuum handling 2003 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI是为前端生产线设计的掩模和晶圆检测设备。该系统提供全自动、非接触式的二维和三维检查过程,以确保半导体元件的质量。该单元在单个模块化软件包中结合了高级图像处理、机器人技术和材料处理功能。KLA SP1T-BI使用先进的线扫描成像技术和数据校正算法来产生清晰、高分辨率的图像。这种高分辨率的数据被送入自动缺陷检测机器,该机器利用先进的图像处理算法来检测表面缺陷和地形变化。该工具还具有检查各种样品类型和样品形状的灵活性。TENCOR SP1 TBI能够对2x4、2x6、3x3和4x4 mm组件执行bin检查。该资产还具有检测各种类型的非尺度缺陷的能力,如光致抗蚀剂残留物、划痕、凹坑和空隙。该模型还可以测量晶片的边缘轮廓以进行缺陷表征。TENCOR SP 1 TBI还使用机器人技术自动处理和定位口罩和工件。这有助于确保设备部件始终精确对齐。该系统还可以配置为容纳各种不同的样本大小和形状。KLA/TENCOR SP1 TBI采用用户友好的图形界面设计,并提供多种统计控制功能,以监测被检验样品的质量。该单元还能够存储大量数据,使用户能够对缺陷和处理数据进行详细的统计分析。此外,TENCOR SP 1-TBI还提供了多种数据输出功能,包括标准映像格式、ASCII数据、网表输出和数据库文件。因此,该机器可以轻松集成到其他软硬件环境的主机中。TENCOR SP1T-BI是一种功能强大且可靠的掩模和晶片检测工具,设计用于高性能和准确性。其先进的成像和自动化功能使其能够准确检查样品,灵活的配置使其能够满足各种应用要求。SP 1-TBI具有用户友好的界面、广泛的分析功能和数据输出功能,是半导体元件生产线的理想解决方桉。
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