二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9354265 待售
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ID: 9354265
晶圆大小: 8"
Inspection systems, 8"
External flat panel display, 22"
SECS / HSMS Interface
Light tower
Histogram with zoom
(2) Hard Disk Drive (HDD) Handlers, 8"
(2) Sender stations: SMIF Inside load port
(2) Receiver stations: Open cassette
Dual arm vacuum handler robot
Robot arm puck
KEYENCE Ionizer bar
FFU With fault alarm function
ARGON Ion laser (30 mW): 488 nm
Computer
Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR SP1-TBI是一种用于掩模和晶片检测的高度先进的设备。利用高速光学和二维图像处理技术检测这些材料中存在的缺陷。掩模和晶片检查系统提供快速的样品到样品扫描速度,以便能够快速准确地检查零件。该设备能够高精度地检查掩模层和晶片的缺陷。它利用双镜头光学机两个放大倍率级提供详细的分析。该工具具有自动和手动图像采集和分析过程的能力。它还配备了大量软件功能,如缺陷分类、缺陷大小和位置测量以及图像的自动对齐。资产可以执行审查扫描,以便对基板进行串联检查。它的可伸缩图像板为自动或手动比较结果提供了灵活性。它还提供了先进的光度量分析,可以检测遮罩层上图桉的纬线和纵线的差异。此外,该模型有一个内置的微观照相机,用于以亚微米分辨率分析样品。KLA SP1T-BI具有内置的图像捕获和处理功能,可提供高精度和重复性。设备还能够处理溢出和不完整的图像。它支持大量的数据格式,可以与现有的IT网络和系统集成。该系统通过提供可重复性、准确性和完整性,确保掩模层和晶片的质量最高。其先进的光学、高精度的分析能力和灵活性使得TENCOR SP1 TBI成为批量生产中进行掩模和晶圆检测的理想单元。
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