二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9362764 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI （Surface Performance 1： Translating Beam Inspection）是KLA Corporation开发的一种面罩和晶圆检测设备。它旨在检查用于生产半导体的掩模和晶圆模具的模式性能。KLA SP1T-BI使用平移光束成像设备实时提供高精度的全场检查。该系统由一个x-y-z扫描级和一个双镜头光学单元组成，允许它在检查时捕获掩模或晶片的表面图像。光学机器采用消色差透镜，上部透镜提供更高分辨率的图像捕捉，下部透镜保持广角视角。该工具使用低成本视频图像分析硬件,提供高速检查和扫描功能。TENCOR SP1 TBI配备了精密的照明器/探测器硬件，可以进行接触和非接触式检查。并联光束识别用扫帚扫描和CCD摄像机对图像进行捕捉、处理和分析。利用内置的高动态范围成像,资产可以检测和测量掩模或晶圆表面上几乎任何类型的模式变化,并生成数据丰富的模式性能报告。SP1T-BI还支持现场缺陷审查,并提供增强的模式检查功能。它允许使用各种成像技术进行检查，如光学字符识别（OCR）、激光图像处理（LIP）、沼泽、微观检查、边缘增强和对比度成像。此外，KLA/TENCOR SP1 TBI是一个高度可靠的模型。先进的检测算法和多重照明技术有助于确保检测提供完整准确的结果。该设备还提供安全的用户界面，并采用专用传感器和机器人技术的组合，确保安全维护和操作。KLA/TENCOR SP1T-BI具有优异的性能和可靠的性能，是口罩和晶片检测和工艺开发的理想工具。它是一个功能强大的高端系统,可提供灵活性、准确性和可靠的数据完整性。