二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9375895 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一种用于检测半导体工业中掩模薄膜和晶片电路模式缺陷的掩模和晶片检测设备。该系统由一个先进的模式识别单元组成，用于自动和可重复的掩码和晶圆检查。KLA SP1T-BI具有两个独立的光学显微镜，能够无损检查小至100纳米的复杂电路模式。显微镜使用自动成像光学系统捕获电路的高分辨率图像，然后由增强的模式识别机进行分析，以检测任何可能的缺陷。凭借其高分辨率成像技术，TENCOR SP1 TBI能够检测到诸如空头、桥接、针孔、晶粒以及各种类型的掩模错误等缺陷类型。该工具还具有基于缺陷类型、大小、位置和物理特征的高级缺陷分析和分类功能。它还可以在三个维度上精确测量缺陷大小和轮廓。该资产还具有用于快速晶片加载和扫描的集成晶片对准模型。这使设备能够同时检查大量的口罩和晶片。它还能够将多个掩码分成各个部分进行进一步分析。KLA/TENCOR SP1 TBI还提供了广泛的质量保证工具，如快速设置和测试运行、自动校准、自动规则调整以及数据记录功能。它还能够进行离线和在线测试，并且可以在实验室和生产环境中使用。此外，该系统设计低噪声运行，可靠性高，适合高吞吐量生产测试。总而言之，TENCOR SP1 TBI掩模和晶片检测仪是一种最先进的机器，旨在检测掩模膜和晶片的复杂电路模式中的缺陷。凭借其高分辨率的成像技术、先进的缺陷分析和分类能力、集成的晶圆对准工具以及广泛的质量保证工具，该资产适用于实验室和生产环境。