二手 KLA / TENCOR SP1-TBI #9401034 待售

KLA/TENCOR SP1-TBI是一种自动掩模和晶片检查设备,用于检查和检测图案化晶片、步进和重复（模式）掩模和光掩模上的缺陷。它利用精密的光学、吸收和图样识别能力，实现极高的检测灵敏度和准确性。KLA SP1T-BI系统的核心是一个集成的软硬件平台，经过优化，能够快速可靠地检查图桉化晶片和掩模的表面。它包括500万像素的SP1-C检查摄像机，它采用先进的光学技术来捕捉缺陷和完美表面的详细图像。SP1-C光学技术为小至0.3 μ m的特征的检测提供了卓越的灵敏度和准确性。它还具有高速图像采集速率，允许快速检查样品。该单元还利用一系列检查软件组件和功能强大的处理器来应对高级工艺控制要求的挑战。特别是Mask Plane Rating软件是为可靠检测和测量线宽、空间和其他边缘特征而设计的,使其非常适合识别mask和晶片中的非均匀性错误。TENCOR SP1 TBI机器的成像软件还为自动缺陷审查工具提供了独特的输入,从而能够快速高效地审查缺陷位置、自动确认测试和自动缺陷分类。此外，该工具还包括先进的优化算法，使其能够迅速确定感兴趣的领域并确定这些领域的优先次序，以便进行深入检查。SP1 TBI资产与各种灵活的配置选项和外围设备工具（如AutoZone软件）兼容,从而确保了模型的轻松对齐和配置。此外,该设备还能够为掩模、晶圆制造和工艺工程师生成实时反馈,从而能够快速评估工艺和实用的共同设计解决方桉。总之,SP1T-BI自动掩模和晶片检查系统提供了令人印象深刻的一系列高级功能、改进的准确性和快速的过程控制评估,使其成为阵列晶片和掩模检查和检测的理想选择。