二手 KLA / TENCOR SP1 #293628417 待售

KLA/TENCOR SP1是一种先进的掩模和晶圆检测设备，设计用于大容量工业环境。KLA SP1具有快速成像、精确控制和高效操作的特点,以最大限度地提高吞吐量和产量。TENCOR SP 1是围绕KLA获得专利的IR Ergonomics™设计的,IR系统由硬件和软件组成,可最大限度地实现用户集成、人体工程学和对齐功能。该装置包括一个自动XY级，用于精确定位被检查的掩模或晶片，以及一个强大的成像子系统。成像子系统包含两行摄像机，晶圆或掩模的每一侧各一行。这四个摄像机以不同的放大倍率捕捉图像，从低分辨率到超高分辨率不等。机器的自动模式识别软件同时对所有四个摄像机的图像进行实时比较。TENCOR SP1专为高性能和可重复性而设计。该工具具有可互换的电光透镜资产，可以在不同放大倍数之间自动切换，并允许进行一系列检查。此外，KLA/TENCOR SP 1利用先进的光学映射技术确保精确对准。这样可以防止任何离轴失真,并允许模型可靠地检测缺陷。它的快速处理使检查速度高达每小时100个晶圆。SP1也是高度可定制的,可以轻松集成到现有的制造过程中。该设备可配置用于各种检查需求,包括半圆、椭圆、螺旋和矩形模式识别。它包括集成的数据分析工具，因此用户可以快速解释生成的图像并快速调整参数以匹配其特定过程。KLA SP 1具有先进的实时成像和精确的模式识别功能,是掩码和晶圆检测应用的理想解决方桉。强大的设计和全面的功能使其成为大批量生产的绝佳选择。