二手 KLA / TENCOR SP1 #9000064 待售

KLA/TENCOR SP1是一款高性能、自动化的掩模和晶圆检测设备，旨在满足当今半导体制造商的严格要求。该系统利用先进的光学设计、数字图像处理和先进的信号分析来检测掩模和晶片表面的缺陷。KLA SP1检查高达25毫米x 25毫米尺寸的口罩和基板,精度为0.05 µm特征尺寸。它采用多波长LED照明，在每个检查点都有可变斜角，在视场上提供统一的分辨率。该设备还提供高级信号调节和信号分析功能,能够检测关键缺陷。TENCOR SP 1集成了先进的双视图扫描机，允许检查两个晶圆表面。结合先进的滤波技术和信号分析，即使是最小的缺陷和微坑也能有效检测。该工具具有高级用户界面,具有直观的图形菜单和易于使用的控件。这使操作员能够快速定义检查设置并跟踪检查结果。TENCOR SP1还提供了增强的状态报告，允许运营商实时监控资产状态。SP 1使用高级纳米级成像模型，执行高对比度图像检测和分析。这种集成技术能够捕获其他检查系统未发现的缺陷。该设备能够检测颗粒污染、颗粒倾倒、管线缺陷、划痕和其他高对比度特征。该系统由强大的可编程逻辑控制器（PLC）提供动力，提供对整个单元的优越控制，而机器可以集成到现有的网络和数据库中，以提供自动监控和收集检查数据。KLA/TENCOR SP 1是半导体制造商寻求降低产量和成本、为客户提供更高质量的产品并保持其竞争优势的重要工具。