二手 KLA / TENCOR SP1 #9024561 待售

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製造商
KLA / TENCOR
模型
SP1
ID: 9024561
晶圆大小: 8"-12"
Adapter plate, 8"-12".
KLA/TENCOR SP1是一种掩模和晶片检验设备,设计用于为半导体器件的生产控制提供快速可靠的基板检验。这个自动化的系统提供精确的视觉检查能力,具有高分辨率的摄像头和先进的算法。该单元的高分辨率检测能力允许检测极小的缺陷和污染,而先进的算法则允许检测细微的模式偏差和边缘误差。KLA SP1机由三个主要部件组成。第一个组件是光学器件,其设计目的是为检验过程提供卓越的成像质量。光学设计融合了高分辨率、远心、大光圈和LED背光的镜头。第二个组件是工具的硬件和软件体系结构。此资产是为实现最佳性能和易用性而设计的,具有多种可配置的选项和设置。该模型具有用户友好的软件,具有用于自动检查和手动操作的直观控制,以及高速的5倍图像采集选项。TENCOR SP1的第三个主要组成部分是其图像分析算法。这些算法旨在检测和分析不同类型的底物缺陷或污染。该设备采用各种不同的方法,如频率编码、比较映射和小波分析,以准确检测和分类污染物和缺陷。SP1还采用了基于特征的分类算法来识别缺陷的大小、形状和方向。KLA/TENCOR SP1系统能够同时对基板进行视觉检查和缺陷分析。该单元能够检测和测量各种颗粒污染、线宽和间距测量。机器还有一个缺陷类型和分类的综合库,可以针对任何特定的应用进行定制。KLA SP1工具非常适合在生产线上进行手动和自动基板检查。其用户友好的软件、高级算法和高分辨率光学器件为广泛的检查应用提供了灵活性和可靠性。通过将强大的图像分析算法与通用的用户界面相结合,TENCOR SP1资产为高效可靠的基板检测提供了一个最佳解决方桉。
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